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KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380 濺射鍍制 TC4 表面 TiN 涂層
KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380 濺射鍍制 TC4 表面 TiN 涂層 價格:11  元(人民幣) 產地:美國
最少起訂量:1 發貨地:本地至全國
上架時間:2020-12-28 15:53:47 瀏覽量:141
伯東企業(上海)有限公司  
經營模式:代理商 公司類型:外商獨資
所屬行業:真空泵 主要客戶:
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聯系人: (先生) 手機:15201951076
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郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn 地址:上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206

詳細介紹

KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380 濺射鍍制 TC4 表面 TiN 涂層


武漢某大學研究中心為了改善 TC4 表面性能采用KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380濺射鍍制 TC4 表面 TiN 涂層,  提高鈦合金表面耐磨耐腐蝕性能提高高溫抗氧性能.

 

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術參數:

射頻離子源型號

RFICP380

Discharge 陽極

射頻 RFICP

離子束流

>1500 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

30 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

15-50 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

39 cm

直徑

59 cm

中和器

LFN 2000

 KRI 考夫曼離子源 RFICP 380

客戶采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380 產生離子束不斷轟擊源極靶材和工件工件在離子束轟擊下迅速被加熱至高溫源極靶材在轟擊作用下濺射出的合金元素不斷奔向工件表面經沉積擴散過程形成一定厚度的涂層.

 

運行結果:

1. 具有沉積薄膜速度快厚度容易控制等特點

2. 涂層的SEM形貌觀測顯示涂層均勻致密無明顯孔洞缺陷涂層厚度約為10um, 過度層厚度約為3um.

3. 涂層的力學性能及磨損性能分析顯示涂層的臨界載荷達到81.75N, 遠遠滿足工程要求涂層與基體結合良好.

4. 在高溫(500℃)下, TiN的摩擦系數更穩定.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

 

若您需要進一步的了解詳細信息或討論請參考以下聯絡方式:

上海伯東羅先生                               臺灣伯東王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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