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PI固化爐晶圓干燥箱高溫無塵無氧箱

	價格：15000 元(人民幣)	產地：上海閔行區
	最少起訂量：1臺	發貨地：上海閔行區
	上架時間：2020-12-24 14:36:04	瀏覽量：465
	上海旦順實業有限公司
	經營模式：生產加工	公司類型：私營有限責任公司
	所屬行業：干燥設備/烘干設備	主要客戶：電子,半導體,LED
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聯系人:蔣鑫 (小姐)	手機:15221744475
電話:	傳真:
郵箱:sale@done-e.com	地址:上海市滬亭公路71弄35號

詳細介紹

PI固化爐晶圓干燥箱高溫無塵無氧箱

智能烘箱過程管理系統由上海旦順實業有限公司自主研發，基于TCP/ip協議，與工廠系統對接，實現自動化烘烤，過程管理�？刂品奖�、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構造，大大提高生產效力！

無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發機構。

烘箱主要參數介紹：

溫度范圍：室溫+20℃～300/400/500/600℃

規格尺寸：

型號	工作尺寸（mm）	功率
COL-1-PC	W450×H350×D450	3.5Kw
COL-2-PC	W450×H700×D450	5.5Kw

均勻度：±1.5%

潔凈等級：Class10 Class100（潔凈度要求可根據客戶需求配置）

含氧量：<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM （含氧量要求可根據客戶需求配置）

升溫速度：常溫～+600℃,升溫速率：0~7℃/min，升溫斜率程序可控

降溫速度：降溫斜率程序可控

控制系統：PCL+PC工控電腦。

公司名稱：上海旦順實業有限公司

業務經理：蔣鑫; 手機號：15221744475

24小時服務熱線：400-823-8860

公司主頁：www.espec.com.cn

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