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              愛德華渦輪分子泵:10??? mbar超高真空,賦能EUV光刻與量子計算
              愛德華渦輪分子泵:10??? mbar超高真空,賦能EUV光刻與量子計算 價格:21000  元(人民幣) 產地:廣東東莞市
              最少起訂量:1 發貨地:廣東東莞市
              上架時間:2025-04-15 09:02:42 瀏覽量:65
              東莞市飛粵真空科技有限公司  
              經營模式:經銷商 公司類型:私營有限責任公司
              所屬行業:真空泵 主要客戶:全國
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              郵箱:feiyuezk3@163.com 地址:東莞市寮步鎮向西村振南四巷9號1樓

              詳細介紹

              愛德華渦輪分子泵:10??? mbar超高真空,賦能EUV光刻與量子計算

              性能特點與核心優勢 
              1. 極限真空性能  
                 - 10??? mbar超高真空:愛德華EXT系列采用先進渦輪分子泵技術,突破傳統真空極限,為EUV光刻機、量子計算機等尖端設備提供無污染的超高真空環境,滿足納米級制造與量子態穩定的嚴苛需求。  
                 - 快速抽氣效率:優化的葉片設計與磁懸浮軸承技術,顯著縮短達到目標真空度的時間,提升設備整體運行效率。  

              2.超高穩定性和可靠性  
                 - 全金屬密封結構:杜絕有機物釋放污染,保障真空腔體的長期潔凈度,尤其適用于半導體制造中對微?刂泼舾械墓に嚟h節。  
                 - 耐高溫與抗振動設計:特殊合金材質與主動振動抑制系統,確保在復雜工況下的連續穩定運行,MTBF(平均無故障時間)行業領先。  

              3. 智能化與節能特性  
                 - 集成智能監控系統:支持實時監測真空度、溫度、轉速等參數,兼容工業4.0協議(如OPC UA),實現遠程診斷與預測性維護。  
                 - 低能耗運行:高效電機與變頻驅動技術降低30%以上能耗,符合綠色制造與碳中和目標。  

              4. 行業定制化兼容  
                 - 適配多種真空腔體接口(如ISO-K/CF法蘭),可無縫集成至ASML、佳能等EUV光刻機,以及量子計算低溫超導系統。  



              行業應用場景
              1. EUV光刻機核心真空系統  
                 - 為極紫外光刻提供無污染超高真空環境,保障光刻膠曝光精度與晶圓良率。  
              2. 量子計算機超導電路冷卻  
                 - 維持稀釋制冷機極低溫環境所需的超高真空,減少熱噪聲對量子比特的干擾。  
              3. 科研級精密儀器  
                 - 應用于表面分析(如SEM/TEM)、核聚變實驗裝置等對真空純凈度要求極高的場景。  


              愛德華渦輪分子泵憑借極限真空性能、超長使用壽命與智能化管理,已成為高端制造業與科研領域的標桿產品:  
              - 技術壁壘突破:10??? mbar真空度助力EUV光刻機實現5nm以下芯片量產,推動摩爾定律延續。  
              - 全生命周期成本優化:低維護需求與能耗節省顯著降低客戶TCO(總擁有成本)。  
              -全球服務網絡:愛德華提供24/7技術響應與定制化真空解決方案,確?蛻粼O備高效運行。  

              立即聯系我們的工程團隊,獲取EXT渦輪分子泵的詳細技術參數與行業案例! 




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