愛德華RV系列真空泵應用真空冶金薄膜覆層LED封裝等應用-中國PLC網

愛德華RV系列真空泵應用真空冶金薄膜覆層LED封裝等應用

	價格：12955 元(人民幣)	產地：廣東東莞市
	最少起訂量：1臺	發貨地：廣東東莞市
	上架時間：2025-04-14 10:57:54	瀏覽量：37
	東莞市飛粵真空科技有限公司
	經營模式：經銷商	公司類型：私營有限責任公司
	所屬行業：真空泵	主要客戶：全國
	在線咨詢

聯系方式

聯系人:劉瑜潔 (小姐)	手機:15079723172
電話:	傳真:
郵箱:feiyuezk3@163.com	地址:東莞市寮步鎮向西村振南四巷9號1樓

詳細介紹

愛德華RV系列真空泵應用真空冶金薄膜覆層LED封裝等應用

愛德華真空泵以高精度、高可靠性、多場景適配性著稱，廣泛應用于半導體、光伏、科研、醫療等高技術領域。

核心產品線及特點
1. 干式真空泵（Dry Vacuum Pumps）
- 無油污染設計：
采用爪式、螺桿式或渦旋式結構，零潤滑油，杜絕油蒸氣反流，滿足半導體、制藥等行業潔凈度要求（顆粒物＜0.1 μm，碳氫化合物＜0.01 ppm）。
- 耐腐蝕性能：
鍍鎳涂層或陶瓷轉子，耐受Cl?、CF?、O?等腐蝕性氣體（如等離子刻蝕工藝）。
- 節能高效：
變頻驅動（VSD）技術，能耗降低30%~50%，適配24小時連續生產。

代表型號：
-nXDS系列：抽速10~600 m?/h，極限真空≤1×10?? mbar，適配半導體刻蝕與薄膜沉積。
- STP系列：耐腐蝕設計，用于光伏電池鍍膜與LED制造。

2. 渦輪分子泵（Turbo Molecular Pumps）
- 超高真空性能：
磁懸浮或陶瓷軸承技術，極限真空達10???~10??? mbar，適配高精度鍍膜、粒子加速器、質譜分析。
- 高速穩定：
轉速90,000 RPM，抽速200~5,000 L/s（氫氣），支持快速抽氣與壓力穩定控制。
- 智能監控：
集成振動傳感器與溫度保護，故障率降低80%。

代表型號：
- EXT系列磁懸浮泵：零機械磨損，壽命＞100,000小時，用于EUV光刻與先進半導體工藝。
-nEXT系列：緊湊型設計，適配實驗室與小型設備。

3. 低溫泵（Cryopumps）
- 超大抽速：
對水蒸氣、氫氣等氣體抽速達10,000~50,000 L/s，極限真空≤10??? mbar。
-無震動干擾：
無機械運動部件，適配電子顯微鏡、表面分析儀等精密儀器。
- 快速再生：
自動加熱再生周期＜2小時，減少停機時間。

代表型號：
-CoolPak系列：集成冷頭與壓縮機，適配真空鍍膜與空間模擬。

關鍵性能優勢

維度	技術表現	行業價值
潔凈度	全干式無油設計，顆粒物排放＜0.1 μm	滿足半導體、制藥超潔凈需求
極限真空	干式泵：10?? mbar；分子泵：10??? mbar	適配高精度科研與先進制程
耐腐蝕性	陶瓷/鍍鎳轉子耐受Cl?、O?、NF?等離子體氣體	延長刻蝕與CVD工藝設備壽命
能效比	變頻驅動節能30%~50%，IE4高效電機	年省電費超$10,000（以50kW機型計）
智能化	IoT遠程監控+預測性維護，故障預警準確率＞90%	減少非計劃停機，提升OEE 15%~20%

典型應用場景
1. 半導體制造
- EUV光刻：EXT磁懸浮分子泵維持超低真空（10?? mbar），保障光刻膠無污染。
- 原子層沉積（ALD）：nXDS干式泵快速抽除前驅體氣體，膜厚均勻性±0.1 nm。

2. 光伏與顯示行業
- OLED蒸鍍：STP干式泵耐高溫（150℃），抽速穩定保障有機材料均勻沉積。
- 鈣鈦礦電池鍍膜：渦輪分子泵+低溫泵組合，真空度達10?? mbar，減少缺陷。

3. 科研與醫療
- 同步輻射光源：低溫泵抽速50,000 L/s，維持超高真空束線環境。
- 冷凍電鏡：無振動低溫泵保障亞埃級成像精度。

4. 工業制造
- 真空釬焊：干式泵快速排除氧化氣體，焊縫強度提升30%。
- 真空冶金：分子泵組實現10?? mbar環境，提升金屬純度。

客戶價值
1.技術領先：
- 磁懸浮分子泵、耐腐蝕干式泵等技術，打破國際壟斷。
- 適配3nm以下先進半導體制程與EUV光刻需求。
2. 成本優化：
- 干式泵免潤滑油維護，年節省耗材費用$5,000~$20,000。
- 智能監控系統減少意外停機損失，綜合成本降低25%。
3. 可持續性：
- 低能耗設計減少碳足跡，兼容綠色工廠標準（ISO 50001）。
- 長壽命設計（分子泵壽命＞10萬小時），減少設備更換頻次。

選型建議

應用場景	推薦產品	關鍵配置
半導體刻蝕	nXDS系列干式泵	耐Cl?腐蝕涂層+變頻驅動
EUV光刻	EXT系列磁懸浮分子泵	極限真空10?? mbar+遠程監控模塊
實驗室分析	nEXT渦輪分子泵	緊湊設計+低振動軸承
真空鍍膜	CoolPak低溫泵	抽速20,000 L/s+自動再生功能

愛德華真空泵以超潔凈、耐腐蝕、智能化為核心，成為高端制造與科研領域的標桿：
- 半導體行業：突破EUV光刻與3nm制程真空技術瓶頸；
- 光伏與顯示：保障OLED與鈣鈦礦電池量產良率；
- 科研醫療：為超精密儀器提供無振動、超高真空環境。
如需定制方案，請提供工藝參數（目標真空度、氣體類型、抽速需求），我們將為您匹配泵組配置！

在線詢盤/留言請仔細填寫準確及時的聯系到你!

您的姓名： * 請輸入您的姓名！
聯系手機： * 請輸入您的手機號！
固話電話： * 請輸入您的電話！
聯系郵箱：
所在單位：
需求數量： * 請輸入需求數量！
咨詢內容：我想了解：《愛德華RV系列真空泵應用真空冶金薄膜覆層LED封裝等應用》的詳細信息.請商家盡快與我聯系。
您要求廠家給您提供：
規格型號付款條件產品目錄最低訂貨量運送資料提供樣本庫存情況包裝材料

聯系方式

詳細介紹

在線詢盤/留言 請仔細填寫準確及時的聯系到你!

在線詢盤/留言請仔細填寫準確及時的聯系到你!