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              愛發科真空泵:電子行業高精密制造的真空技術基石
              愛發科真空泵:電子行業高精密制造的真空技術基石 價格:6999  元(人民幣) 產地:廣東東莞市
              最少起訂量:1 發貨地:本地至全國
              上架時間:2025-04-11 15:28:18 瀏覽量:13
              東莞市飛粵真空科技有限公司  
              經營模式:經銷商 公司類型:私營有限責任公司
              所屬行業:真空泵 主要客戶:全國
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              郵箱:feiyuezk3@163.com 地址:東莞市寮步鎮向西村振南四巷9號1樓

              詳細介紹

              愛發科真空泵:電子行業高精密制造的真空技術基石

              電子行業核心應用場景 

              愛發科真空泵在電子制造中扮演關鍵角色,覆蓋從半導體到消費電子的全產業鏈:  

              1. 半導體制造  

                 - 薄膜沉積(CVD/PVD/ALD):為納米級薄膜(如高k介質、銅互連層)提供超潔凈真空環境。  

                 - 等離子刻蝕:快速抽除反應氣體副產物(如Cl?、CF?),保障刻蝕精度。  

                 - EUV光刻:超低極限真空(≤10?? Pa)支持極紫外光刻膠涂布與顯影。  

              2. PCB與封裝 

                 - 真空層壓:多層板壓合時排除氣泡,提升電路板可靠性。  

                 - 芯片塑封:真空環境避免封裝材料孔隙,降低器件失效風險。  

              3. 顯示屏制造  

                 - OLED蒸鍍:維持高真空(10?? Pa)確保有機材料均勻沉積。  

                 - 液晶灌注:快速抽真空后注入液晶,避免雜質混入。  

              4. 電子元件生產  

                 - 磁控濺射鍍膜:為傳感器、連接器金屬化提供穩定真空。  

                 - 真空釬焊:精密電子元器件的無氧化焊接。  


              愛發科真空泵的核心特點與性能

              技術維度
              性能表現
              電子行業適配性
              超高潔凈度
              全干式無油設計,碳氫化合物濃度<0.01 ppm  
              滿足半導體與顯示屏工藝的零污染要求     
              極限真空度
              分子泵組可達10?? Pa,旋片泵前級達10?? Pa 
              支持5nm以下先進制程與高精度鍍膜 
              抽氣速率
              渦輪分子泵抽速2000~5000 L/s,響應時間<1s 
              縮短工藝周期,產能提升20%~30% 
              耐腐蝕能力
               陶瓷涂層與氟橡膠密封,耐受Cl?、NH?等氣體 
              適配刻蝕、清洗等強腐蝕性工藝環境
              智能控制
               AI變頻調節,能耗降低35%,噪音≤65 dB  

              適配24小時連續生產的潔凈車間標準




              差異化優勢與客戶價值

              1. 成本優化  

                 - 干式泵無耗材設計,5年維護成本比油泵低 60%(以單臺設備計,節省超$50,000)。  

                 - 智能變頻技術減少待機能耗,年節電1.5萬度(約$2,000)。  

              2. 良率提升

                 - 真空穩定性(壓力波動±0.5%)使薄膜均勻性標準差從1.2nm降至0.3nm,芯片良率提高 8%~12%。  

              3. 快速擴產支持 

                 - 模塊化設計支持抽速擴展(如從200 L/s升級至2000 L/s),適配晶圓廠從8英寸到12英寸的產線升級。  

              4. 綠色制造 

                 - 零油污排放,符合ISO 14064與半導體行業ESG標準,助力企業碳中和目標。  


              行業實證案例

              案例1:3D NAND存儲芯片量產 

              - 痛點:200層堆疊工藝中,傳統泵真空波動導致薄膜階梯覆蓋率不足90%。  

              - 方案:愛發科 **MAGiQ系列磁懸浮分子泵+干式前級泵**。  

              - 成果:  

                - 真空穩定性提升至±0.3%,階梯覆蓋率>99%;  

                - 單臺設備年節省電費$8,500,維護成本降低45%。  


              案例2:柔性OLED屏真空蒸鍍  

              - 痛點:油蒸氣污染導致發光層暗點缺陷率5%。  

              - 方案:替換為愛發科 iDRY系列全干式真空泵。  

              - 成果:  

                - 缺陷率降至0.2%,屏幕亮度均勻性達98%;  

                - 設備綜合效率(OEE)從82%提升至93%。  

              愛發科真空泵通過 超潔凈、高穩定、智能化 三大技術支柱,成為電子行業精密制造的核心支撐:  

              1. 技術領先性:磁懸浮分子泵與干式泵技術打破油污染瓶頸,適配3nm以下先進制程;  

              2. 商業價值:良率提升與能耗降低直接推動客戶利潤率增長,5年綜合成本下降40%;  

              3. 未來兼容性:模塊化設計預留AIoT接口,支持與智能制造系統(MES)無縫對接。  






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