半導體制造專用|里其樂防靜電葉片通過SEMI認證,杜絕微塵污染 |
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價格:132 元(人民幣) | 產地:廣東東莞市 |
最少起訂量:1套 | 發貨地:本地至全國 | |
上架時間:2025-04-09 17:21:11 | 瀏覽量:68 | |
東莞市飛粵真空科技有限公司
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經營模式:經銷商 | 公司類型:私營有限責任公司 | |
所屬行業:真空泵 | 主要客戶:全國 | |
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聯系人:劉瑜潔 (小姐) | 手機:15079723172 |
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半導體制造專用|里其樂防靜電葉片通過SEMI認證,杜絕微塵污染
——專為晶圓級潔凈環境設計,助力半導體良率與產能雙提升 半導體真空系統的核心挑戰:微粒污染與靜電吸附
里其樂防靜電葉片:從材料到認證的全鏈路潔凈方案 (技術解析結合SEMI認證要求,強化合規性價值) 防靜電核心技術:雙重電荷消散機制 ? 導電碳纖維基體: - 基材嵌入納米碳管網絡,體積電阻率穩定在10?-10?Ω·cm(SEMI標準:<10?Ω·cm) - 表面靜電消散時間<0.5秒(ESD S20.20標準要求<2秒) ? 離子注入涂層: - 采用等離子體輔助沉積(PECVD)工藝,形成類金剛石碳(DLC)保護層 - 表面電阻率≤10?Ω/sq,摩擦起電壓<5V(普通葉片>2000V) SEMI認證的三大核心突破 ? 材料潔凈度: - 通過SEMI F47-0308氣體兼容性測試,耐蝕性覆蓋Cl?、CF?等蝕刻氣體 - 總揮發性有機物(TVOC)釋放量<1μg/g,符合SEMI E49-1103標準 ? 微?刂疲 - 葉片表面經磁流變拋光(MRF),粗糙度Ra≤0.05μm - 動態運行中微粒釋放量<5個/分鐘(0.1μm以上,SEMI E129-1107 Class 0級) ? 長期穩定性: - 加速老化測試顯示,1000小時連續運轉后電阻率波動<±8% - 通過300次高溫(150℃)-低溫(-40℃)循環沖擊測試無性能衰減 實測數據:晶圓廠真空系統改造對比 (以頭部客戶案例佐證技術實效) 案例:12英寸邏輯芯片制造車間升級項目 - 原產線痛點: ? 每月因微粒污染導致的晶圓返工率達1.2% ? 真空泵每400小時需停機清潔,年損失產能320小時 -解決方案: ? 替換12臺干泵的里其樂**SEMI-Certified?防靜電葉片 ? 加裝葉片磨損在線監測系統 改造后數據:
SEMI認證的深層價值:合規性保障與成本優化 (將認證轉化為企業經濟效益) 1. 規避合規風險 - 滿足臺積電、三星等頭部Foundry的供應商準入要求 - 通過SEMI E142-1107設備數據追溯標準,支持全生命周期質量追溯 2. 綜合成本降低 - 直接節省:年維護成本下降52%(以月產能3萬片的8英寸廠為例) - 隱性收益: ? 晶圓良率提升0.7%-1.2% ? 減少潔凈室FFU過濾網更換頻率(年節省耗材成本超80萬元) 專屬技術服務:從認證到落地的全程護航 (強化B2B服務差異化競爭力) - SEMI合規咨詢:免費提供設備升級合規性預評估報告 -潔凈室適配測試:48小時出具葉片-設備-工藝匹配驗證數據 - 快速響應網絡: ? 臺灣、韓國、新加坡保稅倉支持4小時極速交付 ? 7×24小時駐廠工程師應急支持 ![]() ![]() ![]() |
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