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美國MOTT GasShield® 使用點過濾器 DEF331FF11

產品編號：6700001
典型應用
使用點過濾器用于加油棒中：
設備連接
閥島箱
氣柜
工具隔離儲氣盒
板載 OEM 工具氣箱
產品規格
工作條件
? 最大工作壓力：高達 3750 psig （258 barg）
? 惰性氣體的高工作溫度：460°C
? 最大壓差：1000 psid （68.9 bar）
材料
? 硬件：不銹鋼、不銹鋼 VAR 或合金 22*
? 過濾介質：不銹鋼、鎳、合金 22* 或不銹鋼纖維
? 接液硬件表面光潔度：不銹鋼或哈氏®合金硬件為 5 Ra
? 還提供定制選項
*合金 22 或 UNS N06022 是一種鎳-鉻-鉬高溫合金，通常稱為哈氏合金® C-22®
規格
顆粒去除粒徑： ≥ 0.0015 微米
濾波器效率（對數減少值）： 9 LRV（顆粒減少 99.9999999%）。
根據 SEMI F38-0699 測試方法，在 0.08 μm 的最大穿透性粒徑下確認
氦氣泄漏等級： 1 x 10-9大氣壓 CC/秒
水分貢獻： 根據 SEMI F27 測試方法，在低流量環境吹掃下 1 小時后 <10 ppb
總碳氫化合物： 低于 SEMASPEC 90120396B 測試方法的可檢測限值
顆粒脫落： 根據 SEMI F43-0308 測試方法，高于本底的零顆粒貢獻（<1 顆粒/立方英尺）
配件和尺寸
POU-03
零件描述 配件類型 A 英寸/毫米 B 英寸/毫米 C 英寸/毫米
POU-3-SV1 型
POU-3-HV1
POU-3-HSV1
POU-3-NSV1
1/4 英寸公/公面密封 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-3-SV3 系列
POU-3-HV3
POU-3-HSV3
1/2 英寸公/公面密封 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-05型
零件描述 配件類型 A 英寸/毫米 B 英寸/毫米 C 英寸/毫米
POU-05-SV1 型
POU-05-HV1型
POU-05-NSV1
1/4 英寸公/公面密封 3.31/84.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-05-ST1
POU-05-NST1
1/4 英寸對焊管短管 3.31/84.0 0.75/19.0 不適用
POU-05-FSV1 1/4 英寸公/公面密封 3.31/84.0 0.75/19.0 0.625/15.9
POU-10 型
零件描述 配件類型 A 英寸/毫米 B 英寸/毫米 C 英寸/毫米
POU-10-SV1 系列
POU-10-HV1
POU-10-HSV1
1/4 英寸公/公面密封 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-SV3 系列
POU-10-HV3
POU-10-HSV3
1/2 英寸公/公面密封 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-ST1 型 1/4 英寸對焊管短管 5.00/127.0 1.50/38.1 不適用
POU-10-ST3 型 1/2 英寸對焊管短管 5.00/127.0 1.50/38.1 不適用
POU-30
零件描述 配件類型 A 英寸/毫米 B 英寸/毫米 C 英寸/毫米
POU-30-SV3 系列 1/2 英寸公/公面密封 11.22/285.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-30-ST3 系列 1/2 英寸對焊管短管 11.22/285.0 1.50/38.1 不適用
POU-015
零件描述 配件類型 A 英寸/毫米 B 英寸/毫米 C 英寸/毫米
POU-015-SV1 1/4 英寸公/公面密封 5.00/127.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-015-ST1 1/4 英寸對焊管短管 5.00/127.0 0.75/19.0 不適用
POU-015-SV3 1/2 英寸公/公面密封 5.00/127.0 0.75/19.0 0.875/22.2
*提供定制設計和配件。