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二手電鏡

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	上架時間：2023-02-22 14:58:48	瀏覽量：46
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二手電鏡
成像方式與掃描電鏡相似，不過接收的不是次級電子而是透射電子（包括部分小角散射電子）。樣品也必須是薄膜，STEM的分辨本領與電子束斑直徑相當。專門的STEM用高亮度場致發射電子槍（要求10-10托的超高真空）。分辨本領能達3┱。利用這種STEM已觀察到輕元素支持膜上的單個重原子。對實際工作尤為重要的是可以利用它的微小電子束斑作極微區（幾十埃）的晶體結構分析（用電子衍射）和成分分析（用電子束激發的標識X 射線或者用電子能量損失譜）。目前商品TEM可以帶有STEM附件，不過因為沒有高亮度場致發射槍，所以只能將束斑縮到幾十埃。能做約100┱范圍內的結構和成分分析。能在觀察顯微像的同時在其任意一個微小的局部做上述分析的電鏡叫“分析電鏡”。
除次級電子外，用背散射電子（經過多次散射后又從試樣表面出來的入射電子）成像可辨別原子序數的差別。用標識X 射線成像可辨別元素分布。其他效應如陰極熒光、電子束誘導電流在半導體材料和器件中有其應用。用電子溝道效應可得出晶體取向信息。
TEM襯度的形成，物鏡后焦面是起重要作用的部位。電子經樣品散射后，相對光軸以同一角度進入物鏡的電子在物鏡后焦面上聚焦在一個點上。散射角越大，聚焦點離軸越遠，如果樣品是一個晶體，在后焦面上出現的是一幅衍射圖樣。與短晶面間距（或者說“高空間頻率”）對應的衍射束被聚焦在離軸遠處。在后焦面上設有一個光闌。
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