| 防水式4軸圓柱坐標潔凈機械手臂 |
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價格： 元(人民幣) | 產地：本地 |
| 最少起訂量：1臺 | 發貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2021-11-17 10:47:15 | 瀏覽量：59 | |
上海衡鵬實業有限公司
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防水式4軸圓柱坐標潔凈機械手臂 防水4軸圓柱坐標型機械手臂特點： 防水4軸圓柱坐標型機械手臂STWCR4000系列（配備300 mm晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構） 能夠在酸性，堿性霧氣環境下搬運半導體晶圓 機械手臂標準臂長：160 mm、200 mm 手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性 手臂關節部位防水結構使用V型密封圈 零件之間的結合面采用Viton材質的密封條 Z軸的防水結構可以使用蛇腹管 雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間 配備動作監視器 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 全軸采用2相步進電機 S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式 可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供手指 防水4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數： 使用環境 潔凈間內的大氣環境 手臂 雙臂 到達距離 315mm (手臂第3關節中心到達距離) 升降軸MAX行程 300mm 可搬運質量 3kg (手臂第3關節處基準) 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/ 防水式4軸圓柱坐標潔凈機械手臂相關產品： 衡鵬供應 真空3軸圓柱坐標潔凈機械 5軸水平多關節型晶圓搬運機械手 |
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