| 5軸機械手臂能夠在真空環境下對應不同類型設備的多種布局 |
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價格： 元(人民幣) | 產地：本地 |
| 最少起訂量：1臺 | 發貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2021-10-13 16:01:22 | 瀏覽量：50 | |
上海衡鵬實業有限公司
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5軸機械手臂能夠在真空環境下對應不同類型設備的多種布局 5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂特點： 5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂GTVCR5000系列 實現了下降價格，但是也可以維持以前的GTVHR5000系統的機能，功能 能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局，能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局 通過優化機械手臂的空間尺寸，有利于減小真空腔室的內部容積 非常適合inline設備 機械手臂標準臂長：280mm, 330mm 手臂關節處使用磁流體密封裝置 真空密封：磁流體密封裝置以及波紋管 提高潔凈度的方法：手臂內部排氣口安裝5μm級過濾器 雙手指機構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間 配備動作監視器 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機 S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式，利用O型膠圈的摩擦力來保持位置 可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供手指 真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂基本參數： 使用環境 潔凈間內的大氣：溫度 15°C-40°C 工藝室溫度 MAX450°C 手臂 單臂 到達距離 635mm (手臂第3關節中心基準) 升降軸MAX行程 60mm 可搬運質量 4kg (手臂第3關節處基準) 如需詳細產品參數 請聯系我們衡鵬 http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/gtvcr5330.htm 5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂相關產品： 衡鵬供應 3軸圓柱坐標潔凈機械手臂/4軸圓柱坐標潔凈機械手臂 |
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