臭氧(O3)污水處理技術于1905年應用于水處理，隨著相關技術的進步，臭氧化法成本的降低，被普遍認為是很有發展前景的水處理方法。由于其技術經濟的優勢，已經在廣泛應用了，取得了一些研究和工程的應用的成果。

臭氧對水體的除異臭
在污水處理工藝過程中產生氣味的物質主要由碳、氮和硫元素組成。
只有少數產生氣味的物質是無機化合物，如氨 氣、磷、硫 化 氫；大多數產生氣味的物質是有機化合物，如低分子脂肪酸、胺類、醛類、酮類、醚類等。就本人所在的污水處理廠進水情況來分析，80%的進水量為生活污水，即有機物質的含量是很高的，無機化合物的含量相對比較少。
產生氣味的物質大多是有機化合物，如低分子脂肪酸、胺類、醛類、酮類、醚類等，這些物質都帶有活性基團，容易發生化學反應，特別容易被氧化，利用臭氧具有強氧化性這一特點，氧化活性基團，氣味消失，從而達到除臭的原理。
臭氧除了脫除異味外，還可以防止異味的再產生，這是由于臭氧發生器產生的氣體中含有大量的氧氣或空氣，而產生臭味的物質易在缺氧環境下導致發臭，采用臭氧處理，在氧化除臭的同時，形成富氧環境，可阻止臭味的再產生。對于城市生活污水廠污水處理環境的改善作用還是比較大的。