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OSAKA大阪真空

全方位安裝復合分子泵 TG-F系列

使用了脂潤滑陶瓷軸承，實現了小型、輕量、低成本。 耐外部震動，耐沖擊能力強，可以把分子泵搭載到可搬式設備或設備的可動部，拓展了渦輪分子泵的新應用。提供排氣速度50L/s ～ 2400L/s的產品。

產品型號：

TG50F、TG60F、TG70F、TG220F、TG240F、TG350F

TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F

產品特點：

全方位安裝
?輕巧設計
?節能
?迅速啟動

?使用破控功能可迅速停止

?耐大氣沖擊能力強

?多種通信模式

?符合安全規格NRTL/SEMI-S2/CE

產品應用：

半導體制造
?電子槍排氣，離子源排氣
?FPD制造
?表面處理，表面改質
?各種電子部件的制造
?分析，試驗裝置
?管球制造，光學部件制造
?加速器，放射線設施，核聚變研究
?熱處理
?研究開發

※排放腐蝕性氣體時，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列

技術參數：

• ※1：輔助泵的容量是160L/min情況下的zui大容許流量
• [ 使用環境溫度 ]
• 極限壓力保證環境溫度是10～23℃。另外，容許環境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10～35℃。
• 
  

• 控制器型式	TC353
  輸入電壓(ACV)	100-110 (±10) / 200-230 (±10)
  輸入頻率(Hz)	50/60
  相數	単相
  所需zui大電力(VA)	610
  輸出頻率(Hz)	750
  重量(kg)	2.7
  標準附屬品	?輸入接頭 1個 ?遠控接插頭 1個 ?通信接插頭1個 ?使用說明書 (機身，通信)各1套