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柵尺名稱

精度

柵距

20 °C時的熱膨脹系數

供應長度

讀數頭兼容性

搭配可選FASTRACK?的RTLC20

±5 μm/m

20 μm

10.1 ±0.2 μm/m/°C

長10 m（可根據要求提供10 m以上長度）

TONiC、TONiC UHV

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹系數

供應長度

讀數頭兼容性

RKLC20-S

±5 μm/m

20 μm

用端壓塊固定柵尺端部后，保持與基體材料膨脹系數一致

長20 m（可根據要求提供20 m以上長度）

TONiC、TONiC UHV

柵尺名稱

精度

柵距

20 °C時的熱膨脹系數

供應長度

讀數頭兼容性

RELM20/RELE20

1 m內為±1 μm，以后±1 μm/m

20 μm

0.75 ±0.35 μm/m/°C

可達1.5 m

TONiC、TONiC UHV

柵尺名稱

精度

柵距

20 °C時的熱膨脹系數

供應長度

讀數頭兼容性

RSLM20/RSLE20/RSLC20

1 m內為±1.5 μm，2 m內為±2.25 μm，3 m內為±3 μm，5 m內為±4 μm

20 μm

10.1 ±0.2 μm/m/°C

可達5 m

TONiC、TONiC UHV

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹系數

供應長度

讀數頭兼容性

RGSZ20/RGSN20

±15 μm/m

20 μm

使用端壓塊固定到基體，保持與基體相同的熱膨脹

可達50 m（如需50 m以上長度，請聯系雷尼紹）

TONiC、TONiC UHV

柵尺名稱

刻劃精度（取決于圓光柵直徑）

柵距

20 °C時的熱膨脹系數

圓光柵直徑

讀數頭兼容性

RESM20/REST20

±3.97至±0.38角秒

20 μm

15.5 ±0.5 μm/m/°C

52至550 mm

TONiC、TONiC UHV

柵尺名稱

安裝精度（取決于圓光柵直徑）

柵距

20 °C時的熱膨脹系數

圓光柵直徑

讀數頭兼容性

REXM20/REXT20

（≥100 mm直徑）±1角秒
（75 mm直徑）±1.5角秒
（≤57 mm直徑）±2角秒

20 μm

15.5 ±0.5 μm/m/°C

52至417 mm

TONiC、TONiC UHV

測量標準

RGSZ20：鍍金鋼帶，帶保護膜

還提供不帶參考零位的柵尺，如RGSN20

讀數頭尺寸(LxWxH)

35 mm x 13.5 mm x 10 mm

柵距

20 μm

熱膨脹系數

使用