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全自動紫外光刻機URE-2000\/35
全自動紫外光刻機URE-2000\/35 價格：20000.00  元(人民幣) 產地：上海上海
最少起訂量：1 發貨地：上海上海
上架時間：2023-09-22 15:51:04 瀏覽量：83
米歇爾集團上海工程技術有限公司  
經營模式：生產加工 公司類型：股份合作企業
所屬行業：變送器 主要客戶：石油化工行業
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聯系人:陳先生 (先生) 手機:15102116866
電話: 傳真:
郵箱:michell@email.cn 地址:上海市博園路1333號北虹橋大廈8509室

詳細介紹

產品參數
全自動紫外光刻機URE-2000/35 品牌鑫有研 SIYOUYEN

紫外光刻機
產品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機
創新采用三柔性支點實現高精度自動調平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現自動化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實現高均勻照明；可連續設定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。
主要技術指標：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）
對準精度：±0.8μm
最大膠厚：300μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
照明均勻性：±4（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：350W（直流）
掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

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