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一.技術特征

用途：在平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤等刻劃中具有突出的功能與用途。

技術特點：

1、采用3500W直流高壓汞燈；

2、 采用蠅眼透鏡實現高均勻照明；

3、 實現超大面積光刻；　　　

4、采用CCD自動對準，自動化程度高；

5、性能可靠、操作方便。

主要技術指標：

1、 曝光面積：430 mm×430 mm；　

2、分辨力：3μm；

3、對準精度：≤±1μm ；　　　　　　

4、掩模尺寸：16英寸、17英寸、18英寸、20英寸；

5、照明均勻性：±10（430 mm×430 mm范圍）；

6、掩模相對于樣片運動行程：X: ±6mm; Y: ±6mm;θ: ±6度；