全站儀是人們在角度測量自動化的過程中應用而生的，各類電子經緯儀在各種測繪作業中起著巨大的作用。
全站儀的發展經歷了從組合式即光電測距儀與光學經緯儀組合，或光電測距儀與電子經緯儀組合，到整體式即將光電測距儀的光波發射接收系統的光軸和經緯儀的視準軸組合為同軸的整體式全站儀等幾個階段。
最初速測儀的距離測量是通過光學方法來實現的，我們稱這種速測儀為“光學速測儀”。實際上，“光學速測儀”就是指帶有視距絲的經緯儀，被測點的平面位置由方向測量及光學視距來確定，而高程則是用三角測量方法來確定的。 帶有“視距絲”的光學速測儀，由于其快速、簡易，而在短距離（100米以內）、低精度 （1/200(1/500）的測量中，如碎部點測定中，有其優勢，得到了廣泛的應用。 隨著電子測距技術的出現，大大地推動了速測儀的發展。用電磁波測距儀代替光學視距經緯儀，使得測程更大、測量時間更短、精度更高。人們將距離由電磁波測距儀測定的速測儀籠統地稱之為“電子速測儀”（Electronic Tachymeter）。 全站儀 然而，隨著電子測角技術的出現。 這一“電子速測儀”的概念又相應地發生了變化，根據測角方法的不同分為半站型電子速測儀和全站型電子速測儀。半站型電子速測儀是指用光學方法測角的電子速測儀，也有稱之為“測距經緯儀”。這種速測儀出現較早，并且進行了不斷的改進，可將光學角度讀數通過鍵盤輸入到測距儀，對斜距進行化算，最后得出平距、高差、方向角和坐標差，這些結果都可自動地傳輸到外部存儲器中。全站型電子速測儀則是由電子測角、電子測距、電子計算和數據存儲單元等組成的三維坐標測量系統，測量結果能自動顯示，并能與外圍設備交換信息的多功能測量儀器。由于全站型電子速測儀較完善地實現了測量和處理過程的電子化和一體化，所以人們也通常稱之為全站型電子速測儀或簡稱全站儀。 20世紀八十年代末，人們根據電子測角系統和電子測距系統的發展不平衡，將全站儀分成兩大類，即積木式和整體式。
20世紀九十年代以來，基本上都發展為整體式全站儀。
