（1）內置式臭氧消毒機：將臭氧發生器直接放在空調凈化系統的風道中稱為內置臭氧發生器。臭氧隨著風道的氣流，送入各潔凈區，對潔凈區進行消毒滅菌，剩余臭氧吸入回風口，由中央空調帶走。
（2）外置式臭氧消毒機：可以將臭氧發生器放在中央空調風口的外面，將臭氧打入中央空調的風道中，然后被送入各潔凈區，或采用臺式自帶風機臭氧發生器，多點設計將臭氧散布在潔凈區內，統稱為外置式臭氧發生器。外置式臭氧發生器安裝檢修方便，但制造成本要高一點。
（3）布置管道臭氧消毒機：采用臭氧發生器連接PVC氣管系統，在車間頂部布設管道，將臭氧送入潔凈區。