Alcatel阿爾卡特ATH31分子泵維修,Alcatel ATH31法國阿爾卡特分子泵進氣法蘭口DN40 IOS-KF/DN40CF-F/DN63IOS-KF/DN63CF-F，出氣法蘭口DN16KF，抽速可達到26L/s /30 L/S，極限壓力< 5.10-10 mbar ，轉速為42000rpm，adixen阿迪克森ATH31分子泵對應的控制器為：Alcatel ACT 101 H, AlcatelACT 201 H。