廣州普拓維修德國Pfeiffer普發HiPace 80渦輪分子泵，進氣法蘭口DN 40/DN 63/DN 70（KF/CF) ，出氣法蘭口DN 16 ISO-KF / G，抽速可達到67 L/s，轉速為90000rpm，對應的控制器為： Pfeiffer  TC110 。