技術概述
透過刀具的高頻率振動(15~45kHz)及最高24,000rpm之轉動速度，形成一種結合研磨以及沖擊破壞材料加工技術，可輕易加工高硬度以及脆性材料，同時也可降低30~70%刀具/磨棒接觸材料時所產生的切削應力（依據材質而有所不同），因而提升刀具壽命和表面品質。
減少硬脆材料加工碎邊
透過超音波輔助加工技術，可以輕易的加工硬脆材料，減少碎邊現象，提升表面品質。
增加刀具壽命
因為減少了切削阻抗，刀具壽命也隨之增加。以0.5mm矽晶圓微細鉆孔為例，刀具壽命由3孔提升到236孔。
表面品質優異
透過超音波輔助加工，提升表面品質穩并于表面粗糙度 Ra 0.2 μm，可減少拋光制程。
超音波控制技術
絕佳的超音波控制技術，可以確保長時間加工穩定性。透過本機控制器上 M-code操作，可輕松進行超音波開關、自動掃頻、頻率選擇，以及功率調整等動作。
BBT刀具系統
采用 BBT 刀具系統，先以標準刀具進行粗加工再以超音波刀把進行精加工，可大幅提升加工效率。
產業應用
可運用在醫療產業、模具產業、精密陶瓷產業、玻璃產業、汽車及航太產業。